Vergleichbare Messergebenisse bei der Messung nicht-geometrischer Größen (Hydrophilie von mikroskopischen Bereichen) in der Mikrotechnik durch Bereitstellung von validierten Verfahren und Referenzproben

亲水性、疏水性和Oberflächen聚合材料在微技术中的应用。微流体系统，聚合物基溶液，与德国生物分析，德国生物技术，德国生物化学，德国联合化学。Das Verhalten solcher Bauteile gegen<s:1> ber fligkeiten ist entscheidendf<s:1> r ihre Funktionalität。因此，我们将在此基础上建立爱因斯坦和Nutzung . Kapillarkräften。Die hydrophile von Oberflächen microsystemtechnischer pr<s:1> fobjekte kann aber nicht mehr mit dem blichen Verfahren, der Randwinkelmessung, untersucht werden, da dieses nur bis zur Strukturgröße von etwa 500µm angewendet werden kann。Es mssen deshalb Verfahren gefunden und qualiiziert werden， die zur bestimung von亲水性oder疏水性auch im Bereich von Strukturgrößen kleiner 500µm geeignet sind。[a]亲水性和疏水性化学研究进展[Zusammensetzung der Oberfläche]， [d]相关化学研究进展[Funktionalitäten]和[Oberfläche gelöst]。大足können die Methoden photoelectron - spektroskie and SekundärionenMassenspektrometrie eingesetzt werden， die derzetig Strukturen von 15µm bzw。0、1µm auflösen können。[3] [1] [3] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [2]2 .在“Makrowelt”的建立方法上，在“derechnung”的建立方法上，在“derechnung”的建立方法上，在“derechnung”的建立方法上，在“derechnung”的建立方法上，在“derechnung”的建立方法上，在“derwinkelmessungen”的建立方法上，在“bestbestworden”上。德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国。《测量不确定度（GUM）最佳估计表达式指南》。Die Lösung des Problems der besestimung der hydro亲水性（老疏水性）microskopischer Oberflächenbereiche von microtechnisch hergestellten Bauteilen eröffnet neue Wege, diese Eigenschaft zu kontrollieren and Die Qualität der Bauteile im Fertigungsprozess zu steigern and zu sichern。

Die Messung von Hydrophilie oder Hydrophobie an Oberflächen von Polymerbauteilen ist ein wichtiges Problem in der Mikrotechnik. Mikrofluidische Systeme, insbesondere solche auf Polymerbasis, sind Grundlage von Bauteilen in Anwendungsfeldern wie Bioanalytik, Medizintechnik oder der kombinatorischen Chemie. Das Verhalten solcher Bauteile gegenüber Flüssigkeiten ist entscheidend für ihre Funktionalität. So ist die reproduzierbare Einstellung und Nutzung von Kapillarkräften eines der angestrebten Ziele in der Mikrofluidik. Die Hydrophilie von Oberflächen mikrosystemtechnischer Prüfobjekte kann aber nicht mehr mit dem üblichen Verfahren, der Randwinkelmessung, untersucht werden, da dieses nur bis zur Strukturgröße von etwa 500 µm angewendet werden kann. Es müssen deshalb Verfahren gefunden und qualifiziert werden, die zur Bestimmung von Hydrophilie oder Hydrophobie auch im Bereich von Strukturgrößen kleiner 500 µm geeignet sind. Da Hydrophilie und Hydrophobie mit der chemischen Zusammensetzung der Oberfläche korrelieren, kann das Problem mit einer quantitativen Bestimmung der relevanten chemischen Funktionalitäten an der Oberfläche gelöst werden. Dazu können die Methoden Photoelektronen-Spektroskopie und SekundärionenMassenspektrometrie eingesetzt werden, die derzeitig Strukturen von 15 µm bzw. 0,1 µm auflösen können. Es wird vorgeschlagen, das Problem der Bestimmung der Hydrophilie oder Hydrophobie mikroskopischer Oberflächenbereiche von mikrotechnisch hergestellten Polymerbauteilen aus Polycarbonat und Polymethylmethacrylat durch Bestimmung der chemischen Funktionsgruppen mit der Photoelektronen-Spektroskopie und der Sekundärionen-Massenspektrometrie zu lösen. Die beiden Messverfahren sollen mit Hilfe von Referenzproben kalibriert werden, an denen die Hydrophilie mit der in der "Makrowelt" etablierten Methode, der Berechnung der Oberflächenspannung aus Randwinkelmessungen, bestimmt worden ist. Auf diese Weise kann ein Maßstab aus der Makrowelt in die Mikratechnologie übertragen werden. Die Messunsicherheit des Verfahrens wird nach dem Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement (GUM) bestimmt. Die Lösung des Problems der Bestimmung der Hydrophilie (oder Hydrophobie) mikroskopischer Oberflächenbereiche von mikrotechnisch hergestellten Bauteilen eröffnet neue Wege, diese Eigenschaft zu kontrollieren und die Qualität der Bauteile im Fertigungsprozess zu steigern und zu sichern.