Neuartige räumlich strukturierte Testproben für die Bestimmung der Abbildungsqualität und die Kalibrierung der Längenskala in der Rastersondenmikroskopie (2)

Die Abbildung und Analyse nanoskeliger Strukturen ist von entscheidender Bedeutung für die Herstellung von Mikrosystemen und Nanostrukturen. Dabei wird die Qualität der Abbildung wesentlich durch das Aflösungsvermögen der verwendeten Geräte bestimmt. Für die Ermittlung，Optimierung und qualitätssichernde Kontrolle der Bildauflösung sowie zur Kalibrierung der Längenskala韦尔登geeignete Testproben benötigt.这是一个非常有前途的项目，该项目的结构测试探针具有1 nm和100 nm的结构，用于光栅传感器的测量和控制（SPM）。该系统首先是一个规则的几何形状的Merkmale geschaffen系统，该系统的基本组成部分是晶体（< 1nm）的吸收和光刻结构（> 50 nm）的吸收。在基本结构上，韦尔登可用于确定侧喷流和Sondenspitze的特征，并可用于确定GUM特征的基本结构。该产品在光栅传感器中具有质量保证作用，并在连续生产中具有独特的优势。

Die Abbildung und Analyse nanoskaliger Strukturen ist von entscheidender Bedeutung für die Herstellung von Mikrosystemen und Nanostrukturen. Dabei wird die Qualität der Abbildung wesentlich durch das Auflösungsvermögen der verwendeten Geräte bestimmt. Für die Ermittlung, Optimierung und qualitätssichernde Kontrolle der Bildauflösung sowie zur Kalibrierung der Längenskala werden geeignete Testproben benötigt. Es wird vorgeschlagen, in einem Projekt räumlich strukturierte Testproben mit Strukturbreiten zwischen 1 nm und 100 nm für die Charakterisierung und kontinuierliche Kontrolle von Rastersondenmikroskopen (SPM) zu entwickeln und herzustellen. Damit wird erstmals ein System regelmäßiger geometrischer Merkmale geschaffen, dessen Elemente Dimensionen zwischen den Abmessungen des Kristallgitters (< 1nm) und den Abmessungen von lithographischen Strukturen (> 50 nm) aufweisen. Auf der Grundlage dieser Strukturen werden Verfahren zur Bestimmung der lateralen Auflösung und zur Charakterisierung der Sondenspitze entwickelt, erprobt und bezüglich ihrer Messunsicherheit auf der Grundlage des GUM charakterisiert. Diese Verfahren dienen der Qualitätssicherung in der Rastersondenmikroskopie und ermöglichen damit den Einsatz dieser Geräte in der kontinuierlichen Produktionsüberwachung.