Neuartige räumlich strukturierte Testproben für die Bestimmung der Abbildungsqualität und die Kalibrierung der Längenskala in der Rastersondenmikroskopie (2)

微系统与纳米结构的动力学分析。大北风die Qualität der Abbildung westentlich durch das Auflösungsvermögen der verwendeten Geräte bestmt。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]Es将vorgeschlagen, einem Projekt raumlich strukturierte Testproben麻省理工学院Strukturbreiten来1和100 nm毛皮死Charakterisierung kontinuierliche Kontrolle冯Rastersondenmikroskopen (SPM)祖茂堂entwickeln herzustellen。Damit wid erstmals in System regelmäßiger geometrischer Merkmale geschaffen, dessen element Dimensionen zwischen den Abmessungen des Kristallgitters (< 1nm) and den Abmessungen von lithographischen Strukturen (bbb50 nm) aufweisen。德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德语德语德语德语Qualitätssicherung in der rastersondenmicroskopie and ermöglichen德语德语德语德语Geräte in der kontinuerlichen producktions<s:1> berwachung。

Die Abbildung und Analyse nanoskaliger Strukturen ist von entscheidender Bedeutung für die Herstellung von Mikrosystemen und Nanostrukturen. Dabei wird die Qualität der Abbildung wesentlich durch das Auflösungsvermögen der verwendeten Geräte bestimmt. Für die Ermittlung, Optimierung und qualitätssichernde Kontrolle der Bildauflösung sowie zur Kalibrierung der Längenskala werden geeignete Testproben benötigt. Es wird vorgeschlagen, in einem Projekt räumlich strukturierte Testproben mit Strukturbreiten zwischen 1 nm und 100 nm für die Charakterisierung und kontinuierliche Kontrolle von Rastersondenmikroskopen (SPM) zu entwickeln und herzustellen. Damit wird erstmals ein System regelmäßiger geometrischer Merkmale geschaffen, dessen Elemente Dimensionen zwischen den Abmessungen des Kristallgitters (< 1nm) und den Abmessungen von lithographischen Strukturen (> 50 nm) aufweisen. Auf der Grundlage dieser Strukturen werden Verfahren zur Bestimmung der lateralen Auflösung und zur Charakterisierung der Sondenspitze entwickelt, erprobt und bezüglich ihrer Messunsicherheit auf der Grundlage des GUM charakterisiert. Diese Verfahren dienen der Qualitätssicherung in der Rastersondenmikroskopie und ermöglichen damit den Einsatz dieser Geräte in der kontinuierlichen Produktionsüberwachung.