Neuartige räumlich strukturierte Testproben für die Bestimmung der Abbildungsqualität und die Kalibrierung der Längenskala in der Rastersondenmikroskopie (2)

在此基础上，分析了纳米技术与纳米技术的关系。这是一项非常重要的工作，我们将为您提供更多的服务。Für die Ermittlung，Optimierung and Qualityätssichernde Kontrolle der BildauflöSong Sowie zur Kalibrierung der Längenskala是Geeignete Testproen Benötigt。这是一种新的技术和技术，包括1 nm和100 nm的特征和100 nm的特征。它将在系统中的reelmäçIger几何风险和男性geschaffen，Dessen Elemente Dimensionen zwitchen den AbMessungen des Kristallgitters(&lt；1 nm)和den AbMessungen von Rucktuchen Strukturen(&gt；50 nm)aufweisen。这是一种很好的服务，因为它是一种特殊的服务，它是一种特殊的服务。Dese Verfahren dienen der Qualityätssicherung in der Rasterson denmikroskopie and ermöglichen Damit den einatz dieser Geräte in der kontinuierlichen Produktionsüberwachung.

Die Abbildung und Analyse nanoskaliger Strukturen ist von entscheidender Bedeutung für die Herstellung von Mikrosystemen und Nanostrukturen. Dabei wird die Qualität der Abbildung wesentlich durch das Auflösungsvermögen der verwendeten Geräte bestimmt. Für die Ermittlung, Optimierung und qualitätssichernde Kontrolle der Bildauflösung sowie zur Kalibrierung der Längenskala werden geeignete Testproben benötigt. Es wird vorgeschlagen, in einem Projekt räumlich strukturierte Testproben mit Strukturbreiten zwischen 1 nm und 100 nm für die Charakterisierung und kontinuierliche Kontrolle von Rastersondenmikroskopen (SPM) zu entwickeln und herzustellen. Damit wird erstmals ein System regelmäßiger geometrischer Merkmale geschaffen, dessen Elemente Dimensionen zwischen den Abmessungen des Kristallgitters (< 1nm) und den Abmessungen von lithographischen Strukturen (> 50 nm) aufweisen. Auf der Grundlage dieser Strukturen werden Verfahren zur Bestimmung der lateralen Auflösung und zur Charakterisierung der Sondenspitze entwickelt, erprobt und bezüglich ihrer Messunsicherheit auf der Grundlage des GUM charakterisiert. Diese Verfahren dienen der Qualitätssicherung in der Rastersondenmikroskopie und ermöglichen damit den Einsatz dieser Geräte in der kontinuierlichen Produktionsüberwachung.