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A purification process for new precursors for atomic layer deposition (ALD)

A purification process for new precursors for atomic layer deposition (ALD)
原子层沉积（ALD）新前驱体的纯化工艺
批准号：
536231-2018
负责人：
Ivey, Douglas
金额：
$1.82万
依托单位：
University of Alberta
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Engage Grants Program
财政年份：
2018
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-01-01 至 2019-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=654362
关键词：
purificationprocessnewprecursorsatomic

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
该项目涉及艾伯塔大学化学与材料工程系的研究人员和Seastar化学公司的技术人员之间的合作。主要目标是开发和测试用于原子层沉积(ALD)的新的高纯度前体化学品的扩大纯化工艺。ALD是一种用多种材料制备超薄薄膜的高精度方法，在半导体工业中得到了广泛的应用。这项研究将把计算机模拟和实验测试结合起来，目的是在Seastar化工公司设计和建造一个中试规模的间歇填充精馏塔。
英文摘要
This project involves a collaborative effort between research staff in the Department of Chemical and Materials Engineering at the University of Alberta and technical staff at the Seastar Chemicals Inc. The major goal is to develop and test a scaled-up purification process for new high purity precursor chemicals that are utilized for atomic layer deposition (ALD). ALD is a high precision method to fabricate extremely thin films of a variety of materials and is widely used in the semiconductor industry. The research will combine computer simulations with experimental testing, with the aim of designing and building a pilot scale, batch packed distillation column at Seastar Chemicals Inc.**
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会议论文
Development/characterization of materials for electrochemical energy storage
  • 批准号：
    RGPIN-2018-04488
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $5.68万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Ivey, Douglas
  • 依托单位：
    University of Alberta
Development/characterization of materials for electrochemical energy storage
  • 批准号：
    RGPIN-2018-04488
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.84万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Ivey, Douglas
  • 依托单位：
    University of Alberta
Development of coatings for the oxygen evolution reaction (OER) electrode for zinc-air batteries
  • 批准号：
    566309-2021
  • 项目类别：
    Alliance Grants
  • 资助金额：
    $2.91万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Ivey, Douglas
  • 依托单位：
    University of Alberta
Development/characterization of materials for electrochemical energy storage
  • 批准号：
    RGPIN-2018-04488
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.84万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Ivey, Douglas
  • 依托单位：
    University of Alberta
国内基金
海外基金
Neural Process模型的多样化高保真技术研究
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转运蛋白RCP调控巨噬细胞脂肪酸氧化参与系统性红斑狼疮发病的机制研究
  • 批准号：
    82371798
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    49.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    叶俊娜
  • 依托单位：
    上海交通大学
富营养化藻分段式水热液化过程营养元素Ｎ迁移及低Ｎ成油机制