AlxGa1-xN表面紫外光原位增效多场耦合原子尺度材料去除机制
批准号:
52475195
项目类别:
面上项目
资助金额:
48.00 万元
负责人:
郭剑
依托单位:
学科分类:
工程与材料科学部
结题年份:
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批准年份:
2024
项目状态:
未结题
项目参与者:
郭剑
关键词:
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氮化镓紫外光辅助超精密表面加工中的微观去除机制
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批准号:2023JJ30514
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项目类别:省市级项目
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资助金额:0.0万元
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批准年份:2023
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负责人:郭剑
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依托单位:
硅基高深宽比纳米通道结构的摩擦化学诱导无损伤加工研究
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批准号:2019JJ50518
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项目类别:省市级项目
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资助金额:0.0万元
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批准年份:2019
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负责人:郭剑
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依托单位:
高光效LED氮化镓衬底的无损伤机械-化学交互材料微观去除机制研究
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批准号:51805240
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项目类别:青年科学基金项目
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资助金额:26.0万元
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批准年份:2018
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负责人:郭剑
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依托单位:
国内基金
海外基金