基于AFM机器人的晶圆级芯片缺陷增强成像方法
批准号：
62571348
项目类别：
面上项目
资助金额：
49.00 万元
负责人：
李萌
依托单位：
学科分类：
信息科学部
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
李萌
关键词：
--
李萌的其他基金
相似基金
相关文献
面向高性能表面增强拉曼生物传感的AFM机器人一体化加工方法
-
批准号：62103288
-
项目类别：青年科学基金项目（C类）
-
资助金额：30.0万元
-
批准年份：2021
-
负责人：李萌
-
依托单位：
国内基金
海外基金