基于AlN/ScAlN复合薄膜的高灵敏度、耐压低噪MEMS水声传感器研究
批准号：
62571499
项目类别：
面上项目
资助金额：
50.00 万元
负责人：
贾利成
依托单位：
学科分类：
信息科学部
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
贾利成
关键词：
--
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资助金额：30万元
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批准年份：2023
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负责人：贾利成
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依托单位：
国内基金
海外基金