Low-stress diamond-like carbon films containing carbon nanoparticles produced by combining rf sputtering and plasma chemical vapor deposition
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射频溅射和等离子体化学气相沉积相结合制备的含有碳纳米颗粒的低应力类金刚石碳膜
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sunghwa Hwang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ako Ikegami;Andrew J Moorhouse;Daisuke Kato;Koichiro Haruwaka;Hiroyuki Konishi;Daisuke Motooka;Zhongtian Guo;Hiroshi Kiyama;Junichi Nabekura;Hiroaki Wake*;Sunghwa Hwang
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影响因子：
2.1
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Zhili Sun;C. H. Lin;Y. Lee;J. R. Shi;B. Tay;Xuetao Shi
通讯作者：
Xuetao Shi
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DOI：
10.1016/j.tsf.2010.04.102
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期刊：
影响因子：
--
作者：
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通讯作者：
F. Hong
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
--
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通讯作者：
P. Siciliano
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10.1016/s0925-9635(98)00288-x
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1999
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
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