Reducing off Hydrocarbon Contaminants for EUVL
Reducing off Hydrocarbon Contaminants for EUVL
复制标题
减少 EUVL 的碳氢化合物污染物
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Kinoshita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Tanaka;K.Hamamoto;H.Tsubakino;T.Watanabe;H.Kinoshita
在新斯巴鲁使用极紫外线实验室工具获得的实验结果
影响因子：
1.5
作者：
H. Kinoshita;Takeo Watanabe
通讯作者：
Takeo Watanabe
使用 ETS-1 三非球面镜成像系统进行精细图案复制
影响因子：
1.5
作者：
Takeo Watanabe;H. Kinoshita;K. Hamamoto;M. Hosoya;T. Shoki;H. Hada;H. Komano;Shinji Okazaki
通讯作者：
Shinji Okazaki