Measurement of the Active Species Density for the Synthesis of Amorphous Carbon Nitrides I Metastable Atoms and Electrons in the Microwave Discharge Flow of Ar
Measurement of the Active Species Density for the Synthesis of Amorphous Carbon Nitrides I Metastable Atoms and Electrons in the Microwave Discharge Flow of Ar
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微波氩气放电流中合成非晶碳氮化物 I 亚稳原子和电子活性物质密度的测量
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Saitoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Ito;Y.Sato;H.Saitoh
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DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics 41
影响因子：
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作者：
Y.Ohkawara;S.Ohshio;T.Suzuki;K.Yatsui;H.Ito;H.Saitoh
通讯作者：
H.Saitoh
DOI：
10.1143/jjap.39.4148
发表时间：
2000-07-01
期刊：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS
影响因子：
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作者：
Tanaka, D;Ohkawara, Y;Saitoh, H
通讯作者：
Saitoh, H
利用解离激发反应合成非晶氮化碳薄膜
影响因子：
1.5
作者：
H. Saitoh;H. Takamatsu;D. Tanaka;N. Ito;S. Ohshio;Haruhiko Ito
通讯作者：
Haruhiko Ito
BrCN 与微波放电流 Ar 发生解离激发反应产生的 CN(X2Σ+), v=0 水平的绝对密度
影响因子：
1.5
作者：
Haruhiko Ito;Shinichi Ichimura;K. Namiki;H. Saitoh
通讯作者：
H. Saitoh