Nucleation Control in Solid-Phase Crystallization of a-Si/SiO_2 by Local Ge Insertion

Nucleation Control in Solid-Phase Crystallization of a-Si/SiO_2 by Local Ge Insertion
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局部Ge插入对a-Si/SiO_2固相结晶的成核控制

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
Jpn. J. Appl. phys. 43(4B)
影响因子:
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通讯作者:
I.Tsunoda 他
I.Tsunoda 他
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M.Miyao 他;M.Miyao 他;M.Miyao et al.;M.miyao et al.;M.Miyao 他;M.Miyao 他;I.Tsunoda 他;I.Tsunoda 他

文献摘要

参考文献

被引文献

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