Aluminum Doped Hydrogenated Microcrystalline Cubic Silicon Carbide Films Deposited by Hot Wire CVD
Aluminum Doped Hydrogenated Microcrystalline Cubic Silicon Carbide Films Deposited by Hot Wire CVD
复制标题
热线CVD沉积铝掺杂氢化微晶立方碳化硅薄膜
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Makoto Konagai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shinsuke Miyajima;Akira Yamada;Makoto Konagai
影响因子：
1.9
作者：
PERRIN, J;TAKEDA, Y;MATSUDA, A
通讯作者：
MATSUDA, A
氢化微晶立方碳化硅薄膜的低温（320°C）沉积
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.457-460.317
发表时间：
2004
期刊：
Materials Science Forum
影响因子：
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作者：
S. Miyajima;A. Yamada;M. Konagai
通讯作者：
M. Konagai