3D-measurement using a scanning electron microscope
3D-measurement using a scanning electron microscope
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使用扫描电子显微镜进行 3D 测量
DOI：
10.1016/j.amc.2010.01.107
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Schultheis
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Reithmeier;Vynnyk;Schultheis
本文提出了一种改进的光度法，即所谓的“明暗恢复形状”法。与已知的和已建立的方法相比，检测器系统的效率被考虑，并且抑制了发射电子的角度分布的余弦朗伯定律的要求。该方法检索更准确的数据，亚微米的子结构，如衍射光学元件（DOE），由于增加的横向分辨率和工作效率比广泛使用的可比技术。
In this paper the improved photometric or the so called “Shape From Shading” method is presented. In comparison to known and established approaches the efficiency of the detector system was considered and the requirements of the cosine Lambert’s law for the angle distribution of the emitted electrons are suppressed. The method retrieves more accurate data of sub-micrometer substructures like diffractive optical elements (DOE) due to an increased lateral resolution and works more efficiently than widely used comparable techniques.
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DOI：
10.1115/1.3139697
发表时间：
1982
影响因子：
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作者：
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通讯作者：
D. Hrovat
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作者：
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通讯作者：
Konvalina, I.
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