ULTRA-RAPID MICROFABRICATION OF HOLLOW-WELL MICRONEEDLES BY DIFFRACTION ULTRAVIOLET (UV) LITHOGRAPHY

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通过衍射紫外 (UV) 光刻技术超快速微细加工空心孔微针

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
Actuators and Microsystems Workshop
影响因子:
--
通讯作者:
Yuankai Li, Jun Ying
Yuankai Li, Jun Ying
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
Yuankai Li, Jun Ying

文献摘要

参考文献

被引文献

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