Methode zur Erfassung periodischer Sub-Wellenlängen-Nanostrukturen für den In-Prozess-Einsatz
Methode zur Erfassung periodischer Sub-Wellenlängen-Nanostrukturen für den In-Prozess-Einsatz
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用于检测过程中使用的周期性亚波长纳米结构的方法
DOI：
10.1515/teme-2017-0093
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
A. Fischer
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Stöbener;G. Alexe;A. Tausendfreund;A. Fischer
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A. Fischer
通讯作者：
A. Fischer
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DOI：
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发表时间：
1991
期刊：
影响因子：
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作者：
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通讯作者：
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通讯作者：
Osten, Wolfgang
DOI：
--
发表时间：
1996
期刊：
影响因子：
--
作者：
S. Nishisato
通讯作者：
S. Nishisato