Air-suspended polymer rib waveguides
Air-suspended polymer rib waveguides
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空气悬浮聚合物肋形波导
DOI：
10.1117/12.2079207
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Christian Karnutsch
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Christoph Prokop;Philipp Kleeßen;Nico Irmler;Arnan Mitchell;Christian Karnutsch
为了实现空气悬浮光子器件的高折射率对比度，我们提出了一种用于将薄聚合物膜层压到呈现空气腔的结构化聚合物层上的方法。通过使用平坦的PDMS印模，聚合物膜可以在数百平方微米的面积上转移。在空气悬浮板的顶部，可以旋涂第二层光致抗蚀剂，随后可以通过使用标准光刻来定义每个所需的光子结构。在这里，为了证明我们的聚合物光子器件的层压方法的可行性，我们提出了空气悬浮单模脊形波导的光学建模和实验结果。示出了可见光和红外光的波导，并且给出了λ = 1550 nm的光束轮廓，其支持脊形波导的单模行为。
In order to achieve a high refractive index contrast for air-suspended photonic devices, we present a method for laminating thin polymer films onto structured polymer layers that exhibit an air cavity. By using a flat PDMS stamp, polymer films can be transferred over areas of several hundred square microns. On top of the air-suspended slab a second layer of photoresist can be spun and subsequently every desired photonic structure can be defined by using standard photolithography. Here, to demonstrate the feasibility of our lamination method for polymer photonic devices, we present optical modeling and experimental results of air-suspended single mode rib waveguides. Waveguiding is shown for visible and infrared light and a beam profile for λ = 1550 nm is presented that underpins single mode behavior of the rib waveguide.
影响因子：
2.3
作者：
Abgrall, P;Lattes, C;Gué, AM
通讯作者：
Gué, AM
大横截面光学肋骨导向器的特性。
DOI：
--
发表时间：
1976
期刊：
影响因子：
--
作者：
K. Petermann
通讯作者：
K. Petermann
一种新颖简单的直接紫外光刻嵌入式SU-8微通道制造方法
影响因子：
2.3
作者：
C. Fu;C. Hung;H. Huang
通讯作者：
H. Huang