Use of grazing angle sputtering for improving depth resolution in high resolution RBS

Use of grazing angle sputtering for improving depth resolution in high resolution RBS
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使用掠角溅射提高高分辨率 RBS 中的深度分辨率

DOI:
--
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发表时间:
2004
期刊:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 219-220
影响因子:
--
通讯作者:
K.Kimura
K.Kimura
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
W.Sakai;K.Nakajima;M.Suzuki;K.Kimura

文献摘要

参考文献

被引文献

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