Pulse Radiolysis Study of Polystyrene-based Polymers with Adding Photoacid Generators (PAGs): Molecular Dynamics of Extreme-ultraviolet and Electron Beam Resist
Pulse Radiolysis Study of Polystyrene-based Polymers with Adding Photoacid Generators (PAGs): Molecular Dynamics of Extreme-ultraviolet and Electron Beam Resist
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添加光酸发生器 (PAG) 的聚苯乙烯基聚合物的脉冲辐解研究：极紫外和电子束抗蚀剂的分子动力学
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Sumiyoshi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Okamoto;K. Tominaga;T. Hori;H. Yamamoto;T. Kozawa;R. Fujiyoshi;and T. Sumiyoshi
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发表时间：
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S.Seki et al.
通讯作者：
S.Seki et al.
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10.1016/1359-0197(86)90128-1
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