Pragmatic Micrometre to Millimetre Calibration Using Multiple Methods for Low-Coherence Interferometer in Embedded Metrology Applications.
Pragmatic Micrometre to Millimetre Calibration Using Multiple Methods for Low-Coherence Interferometer in Embedded Metrology Applications.
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DOI：
10.3390/s21155101
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发表时间：
2021-07-28
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Kinnell P
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hovell T;Petzing J;Justham L;Kinnell P
用于表面形貌、纹理和形状分析以及质量控制过程的现场计量需要高水平的可靠性。因此，需要一种可追溯的方法来定期校准测量系统的传递函数。本文比较了利用参考激光干涉仪对光谱域低相干干涉仪进行尺寸标定的三种方法和两种类型的单材料测量方法。此外，还显示了数据集稀疏性的影响，以及跨不同介质运行时使用单一校准数据集对系统性能的影响。
In-situ metrology utilised for surface topography, texture and form analysis along with quality control processes requires a high-level of reliability. Hence, a traceable method for calibrating the measurement system’s transfer function is required at regular intervals. This paper compares three methods of dimensional calibration for a spectral domain low coherence interferometer using a reference laser interferometer versus two types of single material measure. Additionally, the impact of dataset sparsity is shown along with the effect of using a singular calibration dataset for system performance when operating across different media.
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