Self-formation of Ti-rich Interfacial Layers in Cu(Ti) Alloy Film

Self-formation of Ti-rich Interfacial Layers in Cu(Ti) Alloy Film
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Cu(Ti)合金膜中富钛界面层的自形成

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics 46
影响因子:
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通讯作者:
M.Murakami
M.Murakami
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
K.Ito;S.Tsukimoto;M.Murakami

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参考文献

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