A Highly Sensitive Optical Sensor Design by Integrating a Circular-Hole Defect With an Etched Diffraction Grating Spectrometer on an Amorphous-Silicon Photonic Chip
A Highly Sensitive Optical Sensor Design by Integrating a Circular-Hole Defect With an Etched Diffraction Grating Spectrometer on an Amorphous-Silicon Photonic Chip
复制标题
在非晶硅光子芯片上集成圆孔缺陷和蚀刻衍射光栅光谱仪的高灵敏度光学传感器设计
DOI：
10.1109/jphot.2012.2188097
复制
发表时间：
2012-02
影响因子：
2.4
通讯作者：
Li, X.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Song, J.;Li, Y. Z.;Zhou, X.;Li, X.
提出了一种基于非晶硅光子平台的圆孔缺陷与蚀刻衍射光栅（EDG）光谱仪相结合的灵敏光学传感器设计。氢在退火过程中向外扩散形成的圆孔缺陷在某些特定波长处会引起强烈的共振散射损耗。共振峰的位置随被测样品折射率的变化而线性移动（灵敏度为9200 nm/RIU）。此外，基于标量衍射方法和绿色张量技术，数值分析了缺陷对传感特性的影响。
We present a sensitive optical sensor design by integrating a circular-hole defect with an etched diffraction grating (EDG) spectrometer based on amorphous-silicon photonic platforms. The circular-hole defect obtained from the outdiffusion of the hydrogen in the annealing process can induce strong resonant scattering loss at some special wavelengths. The positions of resonant peaks will linearly shift with the refractive index change of the detected sample (the sensitivity is 9200 nm/RIU). In addition, the influences of the defect on the sensing characteristics are numerically analyzed based on a scalar diffraction method and a Green tensor technology.
登录
查看更多内容
用于定量细胞因子检测和 T 细胞分泌分析的硅光子微环谐振器。
影响因子：
7.4
作者：
Luchansky, Matthew S.;Bailey, Ryan C.
通讯作者：
Bailey, Ryan C.
影响因子：
2.6
作者：
Jun-Hwa Song;N. Zhu
通讯作者：
Jun-Hwa Song;N. Zhu
影响因子：
3.8
作者：
Shiyang Zhu;G. Lo;Dim-Lee Kwong
通讯作者：
Shiyang Zhu;G. Lo;Dim-Lee Kwong
影响因子：
2.6
作者：
Jun-Hwa Song;Jinfei Ding
通讯作者：
Jun-Hwa Song;Jinfei Ding
影响因子：
3.6
作者：
P. Debackere;R. Baets;P. Bienstman
通讯作者：
P. Debackere;R. Baets;P. Bienstman