Extracting Method of High-Frequency Dielectric Characteristics for Low-k Material Using Micro Thin Film Capacitor
Extracting Method of High-Frequency Dielectric Characteristics for Low-k Material Using Micro Thin Film Capacitor
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利用微型薄膜电容器提取Low-k材料高频介电特性的方法
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masahiro Aoyagi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jun So Pak;Katsuya Kikuchi;Hirotaka Oosato;Hiroshi Nakagawa;Masahiro Aoyagi
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