Compact Triangulation Sensor Array Constructed by Wafer Bending
Compact Triangulation Sensor Array Constructed by Wafer Bending
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通过晶圆弯曲构造的紧凑型三角测量传感器阵列
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Endou;M.Ishimori;M.Sasaki;K.Hane
采用深X射线光刻技术制造的微型光学距离传感器
影响因子：
1.3
作者：
H. Nakajima;P. Ruther;J. Mohr;M. Tsugai;T. Usami
通讯作者：
T. Usami
影响因子：
1.5
作者：
M. Ishimori;J. Song;M. Sasaki;K. Hane
通讯作者：
K. Hane