Thermally and chemically non-equilibrium modelling of high-power Ar-N_2-H_2 Inductively coupled plasmas
Thermally and chemically non-equilibrium modelling of high-power Ar-N_2-H_2 Inductively coupled plasmas
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高功率Ar-N_2-H_2电感耦合等离子体的热化学非平衡建模
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y. Tanaka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Takeguchi;Y. Kawashita;Y. Uesugi;Y. Tanaka;Y. Tanaka
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用于硅氢化的大气压下氩-氢射频感应热等离子体炬的光谱诊断
DOI：
10.1088/0022-3727/35/18/309
发表时间：
2002
期刊：
Journal of Physics D
影响因子：
--
作者：
F. Bourg;S. Pellerin;D. Morvan;J. Amouroux;J. Chapelle
通讯作者：
J. Chapelle
影响因子：
3.2
作者：
S. Son;M. Taheri;E. Carpenter;V. Harris;M. McHenry
通讯作者：
S. Son;M. Taheri;E. Carpenter;V. Harris;M. McHenry
DOI：
--
发表时间：
1990
期刊：
影响因子：
--
作者：
S. Paik;E. Pfender
通讯作者：
E. Pfender
感应等离子体建模中的湍流
DOI：
10.1088/0022-3727/27/5/011
发表时间：
1994
期刊：
Journal of Physics D
影响因子：
--
作者：
Kaiyi Chen;M. Boulos
通讯作者：
M. Boulos
射频电感耦合等离子体的湍流模型
DOI：
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发表时间：
1989
期刊：
影响因子：
--
作者：
M. El;J. Mostaghimi;M. Boulos
通讯作者：
M. Boulos