Improvement in a surface motor-driven planar motion stage
Improvement in a surface motor-driven planar motion stage
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表面电机驱动平面运动平台的改进
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Wei Gao;et al.
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UNCC/MIT 亚原子测量机的动力学和控制
DOI：
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发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
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作者：
R. Hocken;D. Trumper;C. Wang
通讯作者：
C. Wang
基于二维平面电机的机床运动系统的研究
DOI：
10.1016/s0890-6955(98)00085-6
发表时间：
1999
影响因子：
14
作者：
M. Soltz;Y. Yao;J. Ish
通讯作者：
J. Ish
紧凑、灵敏的二维角度探头，用于大型硅片的平整度测量
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
作者：
W. Gao;Peisen Huang;Tomohiko Yamada;S. Kiyono
通讯作者：
S. Kiyono
一种基于角度的精密机器位置检测方法
DOI：
10.1299/jsmec.42.44
发表时间：
1999
期刊：
Jsme International Journal Series C-mechanical Systems Machine Elements and Manufacturing
影响因子：
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作者：
S. Kiyono;Cai Ping;Gao Wei
通讯作者：
Gao Wei
DOI：
10.1016/j.precisioneng.2003.12.003
发表时间：
2004-07-01
影响因子：
3.6
作者：
Gao, W;Dejima, S;Tomita, Y
通讯作者：
Tomita, Y