Vertical Nano-Positioning System with Gravity Compensator
Vertical Nano-Positioning System with Gravity Compensator
复制标题
带重力补偿器的垂直纳米定位系统
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hidenori SHINNO
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Motohiro TAKAHASHI;Hayato YOSHIOKA;Hidenori SHINNO
新开发的长行程重力补偿垂直纳米运动平台
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing Vol.2
影响因子：
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作者：
M. Takahashi;H. Yoshioka;H. Shinno
通讯作者：
H. Shinno
影响因子：
2.3
作者：
E. Beckert;Andrew Hoffmann;E. Saffert
通讯作者：
E. Saffert
真空状态下的垂直移动台
DOI：
10.1299/jsmec1988.33.61
发表时间：
1990
期刊：
Jsme International Journal Series C-mechanical Systems Machine Elements and Manufacturing
影响因子：
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作者：
Masaru Ohtsuka;M. Furukawa;Makoto Higomura
通讯作者：
Makoto Higomura