Experimental investigation of discharge characteristics in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation
Experimental investigation of discharge characteristics in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation
复制标题
增强辉光放电等离子体浸没离子注入放电特性实验研究
DOI：
10.1016/j.physleta.2008.08.026
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发表时间：
2008-09
影响因子：
2.6
通讯作者：
Lu, Qiu Yuan
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Li, Liu He;Chu, Paul K.;Fu, Ricky K. Y.;Lu, Qiu Yuan
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DOI：
10.1088/0022-3727/34/3/318
发表时间：
2001-02
期刊：
Journal of Physics D: Applied Physics
影响因子：
--
作者：
X. Tian;P. Chu
通讯作者：
X. Tian;P. Chu
影响因子：
5.4
作者：
S. Mukherjee;M. Ranjan;R. Rane;N. Vaghela;A. Phukan;K. Suraj
通讯作者：
S. Mukherjee;M. Ranjan;R. Rane;N. Vaghela;A. Phukan;K. Suraj
影响因子：
3.2
作者：
Liuhe Li;Yuzheng Wu;Yingxi Zhang;R. Fu;P. Chu
通讯作者：
Liuhe Li;Yuzheng Wu;Yingxi Zhang;R. Fu;P. Chu
DOI：
10.1201/9780203021545-21
发表时间：
2004-04
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
P. Chu;X. Tian
通讯作者：
P. Chu;X. Tian
影响因子：
5.4
作者：
Liuhe Li;R. Fu;R. Poon;S.C.H. Kwok;P. Chu;Y. Q. Wu;Y. H. Zhang;Xun Cai;Qiulong Chen;Ming Xu
通讯作者：
Liuhe Li;R. Fu;R. Poon;S.C.H. Kwok;P. Chu;Y. Q. Wu;Y. H. Zhang;Xun Cai;Qiulong Chen;Ming Xu