SiNx thickness dependent morphology and mechanical properties of CrAlN/SiNx nanomultilayers

SiNx thickness dependent morphology and mechanical properties of CrAlN/SiNx nanomultilayers
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CrAlN/SiNx 纳米多层膜的 SiNx 厚度相关形貌和机械性能

DOI:
10.1016/j.tsf.2013.02.049
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发表时间:
2013-05
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
He, Daihua
He, Daihua
中科院分区:
材料科学3区
文献类型:
--
作者:
Li, Wei;Liu, Ping;Zhao, Yongsheng;Zhang, Ke;Ma, Fengcang;Liu, Xinkuan;Chen, Xiaohong;He, Daihua

文献摘要

参考文献

被引文献

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