SiNx thickness dependent morphology and mechanical properties of CrAlN/SiNx nanomultilayers
SiNx thickness dependent morphology and mechanical properties of CrAlN/SiNx nanomultilayers
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CrAlN/SiNx 纳米多层膜的 SiNx 厚度相关形貌和机械性能
DOI:
10.1016/j.tsf.2013.02.049
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发表时间:
2013-05
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
He, Daihua
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Li, Wei;Liu, Ping;Zhao, Yongsheng;Zhang, Ke;Ma, Fengcang;Liu, Xinkuan;Chen, Xiaohong;He, Daihua
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DOI:
10.1016/j.msea.2006.02.455
发表时间:
2007-07-25
影响因子:
6.4
作者:
Gubicza, J.;Chinh, N. Q.;Ungar, T.
通讯作者:
Ungar, T.
影响因子:
1.7
作者:
M. Kong;Jian-ling Yue;Geyang Li
通讯作者:
M. Kong;Jian-ling Yue;Geyang Li
影响因子:
8.6
作者:
A. Madan;Ilwon Kim;S. Cheng;P. Yashar;V. Dravid;S. Barnett
通讯作者:
A. Madan;Ilwon Kim;S. Cheng;P. Yashar;V. Dravid;S. Barnett
影响因子:
3.1
作者:
A. Stokes
通讯作者:
A. Stokes
DOI:
10.1146/annurev.ms.24.080194.002405
发表时间:
1994-08
期刊:
Annual Review of Materials Science
影响因子:
--
作者:
S. Barnett;M. Shinn
通讯作者:
S. Barnett;M. Shinn