Roughness Analysis of trench patterns formed by Using Block Copolymer Lithography
Roughness Analysis of trench patterns formed by Using Block Copolymer Lithography
复制标题
使用嵌段共聚物光刻形成的沟槽图案的粗糙度分析
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
H. Yamaguchi
中科院分区:
文献类型:
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作者:
T. Yamaguchi;H. Yamaguchi
影响因子:
7.015
作者:
G. M. Perera;Chengqing C. Wang;M. Doxastakis;R. J. Kline;Wen;A. Bosse;G. Stein
通讯作者:
G. Stein
影响因子:
17.1
作者:
D. Sunday;Matthew R. Hammond;Chengqing C. Wang;Wen;D. Delongchamp;Melia Tjio;Joy Y. Cheng;J. Pitera;R. Joseph Kline
通讯作者:
R. Joseph Kline
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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作者:
Chengqing C. Wang;W. Fu;Bin Li;Huai;C. Soles;E. Lin;Wen;P. Ho;M. Cresswell
通讯作者:
M. Cresswell