Roughness Analysis of trench patterns formed by Using Block Copolymer Lithography

Roughness Analysis of trench patterns formed by Using Block Copolymer Lithography
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使用嵌段共聚物光刻形成的沟槽图案的粗糙度分析

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
H. Yamaguchi
H. Yamaguchi
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
T. Yamaguchi;H. Yamaguchi

文献摘要

参考文献

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