Self-calibration for variable line spacing gratings by a lateral distance with Fizeau interferometer
Self-calibration for variable line spacing gratings by a lateral distance with Fizeau interferometer
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利用斐索干涉仪通过横向距离对可变线距光栅进行自校准
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiraku Matsukuma
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chenguang Yin;Wei Gao;Xin Xiong;Ryo Sato;Hiraku Matsukuma
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在 PTB 纳米比较器上集成阶梯规测量功能 – 概念和初步测试
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
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影响因子：
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作者：
C. Weichert;S. Bütefisch;R. Köning;J. Flügge
通讯作者：
J. Flügge
最近在 PTB 纳米比较器上实现的用于单向和双向测量的紫外显微镜的表征进展
影响因子：
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作者：
J. Krüger;R. Köning;B. Bodermann
通讯作者：
B. Bodermann
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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作者：
C. Weichert;H. Bosse;J. Flügge;R. Köning;P. Köchert;A. Wiegmann;H. Kunzmann
通讯作者：
H. Kunzmann
DOI：
10.1016/j.precisioneng.2020.09.007
发表时间：
2021-01-01
影响因子：
3.6
作者：
Shimizu, Yuki;Ishizuka, Ryo;Gao, Wei
通讯作者：
Gao, Wei
影响因子：
4
作者：
C. Shank;R. Fork;R. Yen;R. Stolen;W. Tomlinson
通讯作者：
W. Tomlinson