Reduction of dislocation density in AlGaN with high AlN molar fraction by using a rugged AlN epilayer

Reduction of dislocation density in AlGaN with high AlN molar fraction by using a rugged AlN epilayer
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通过使用坚固的 AlN 外延层降低具有高 AlN 摩尔分数的 AlGaN 中的位错密度

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Material Research Society Symposium Proceedings Vol.831
影响因子:
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通讯作者:
Akira Ishiga
Akira Ishiga
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
M.Hashimoto;A.Yanase;R.Asano;H.Tanaka;H.Bang;K.Akimoto;H.Asahi;Akira Ishiga

文献摘要

参考文献

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