High-precision picosecond laser structuring on LTCC for silicon chip assembly with high electrical contact density

High-precision picosecond laser structuring on LTCC for silicon chip assembly with high electrical contact density
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LTCC 上的高精度皮秒激光结构化,用于具有高电接触密度的硅芯片组装

DOI:
10.23919/empc.2017.8346866
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发表时间:
2017
期刊:
2017 21st European Microelectronics and Packaging Conference (EMPC) & Exhibition
影响因子:
--
通讯作者:
J. Müller
J. Müller
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
N. Gutzeit;A. Schulz;T. Welker;Ch. Wagner;E. Schäfer;J. Müller

文献摘要

参考文献

被引文献

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