Development of Magnet-Free Uniform Sputtering System by RF and Microwave Power Superposition
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射频与微波功率叠加无磁均匀溅射系统的研制
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Noda and H. Toyoda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hagihara;T. Noda and H. Toyoda
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采用新型天线耦合器设计的米级高密度微波等离子体生产
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proceedings of 4th International Symposium on Dry Process
影响因子：
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作者：
Y.Nojiri;K.Takasu;T.Ishijima;H.Sugai
通讯作者：
H.Sugai
影响因子：
1.5
作者：
S. Somiya;H. Toyoda;Y. Hotta;H. Sugai
通讯作者：
S. Somiya;H. Toyoda;Y. Hotta;H. Sugai
大振幅表面波在波维持的等离子体柱中的传播
影响因子：
3.2
作者：
E. Mateev;I. Zhelyazkov;V. Atanassov
通讯作者：
V. Atanassov
微波和射频辅助磁控管放电电离效率的比较
影响因子：
5.4
作者：
L. Poucques;Jean;P. Vašina;C. Boisse;Lionel Teulé;J. Bretagne;M. Touzeau
通讯作者：
M. Touzeau
通过负离子进行溅射过程诊断
DOI：
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
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作者：
M. Zeuner;H. Neumann;J. Žalman;H. Biederman
通讯作者：
H. Biederman