Zero-length conflat fin-type nonevaporable getter pump deposited with oxygen-free palladium/titanium
Zero-length conflat fin-type nonevaporable getter pump deposited with oxygen-free palladium/titanium
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无氧钯/钛沉积的零长度平翅式非蒸发吸气泵
DOI：
10.1016/j.vacuum.2023.112004
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
Mase Kazuhiko
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Sato Yuta;Kikuchi Takashi;Miyazawa Tetsuya;Ohno Shinya;Hashimoto Ayako;Yamanaka Misao;Mase Kazuhiko
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通讯作者：
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--
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通讯作者：
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通讯作者：
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--
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通讯作者：
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