Homoepitaxial diamond films grown on vicinal substrates by high-power microwave plasma CVD

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高功率微波等离子体CVD在邻位衬底上生长同质外延金刚石薄膜

DOI:
--
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
S.Kawashima
S.Kawashima
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
山本琢也;他;S.Kawashima

文献摘要

参考文献

被引文献

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