Studies on Sn Thin Film Decomposition Using VHF hydrogen plasmas
Studies on Sn Thin Film Decomposition Using VHF hydrogen plasmas
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VHF氢等离子体分解Sn薄膜的研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Kiichiro UCHINO
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mengran JI;Ryo NAGATA ;and Kiichiro UCHINO
非晶硅和微晶硅技术——1998年
DOI：
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
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作者：
R. Schropp;H. Branz;I. Shimizu;S. Wagner;M. Hack
通讯作者：
M. Hack
DOI：
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发表时间：
1988
期刊：
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影响因子：
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作者：
A. Madan;M. Thompson;P. Taylor;P. G. Lecomber;Y. Hamakawa
通讯作者：
Y. Hamakawa
实时椭圆光度法观察氢化非晶碳薄膜的初始生长动力学
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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作者：
Jumpei Kurokawa;Hiroki Kondo;Kenji Ishikawa;Takayoshi Tsutsumi,Makoto Sekine and Masaru Hori
通讯作者：
Takayoshi Tsutsumi,Makoto Sekine and Masaru Hori