Nanosecond laser-induced ablation and laser-induced shockwave structuring of polymer foils down to sub-μm patterns
Nanosecond laser-induced ablation and laser-induced shockwave structuring of polymer foils down to sub-μm patterns
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纳秒激光诱导烧蚀和激光诱导冲击波结构化聚合物箔直至亚微米图案
DOI：
10.1117/12.2079434
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
L. Engisch
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
P. Lorenz;L. Bayer;M. Ehrhardt;K. Zimmer;L. Engisch
微纳米结构在快速、低成本和大面积生产方面表现出日益增长的商业兴趣。激光方法具有巨大的潜力，易于制造表面结构的柔性聚合物箔，如聚酰亚胺（PI）。本文对KrF准分子激光用于聚合物箔结构的两种不同概念进行了测试和比较：激光诱导烧蚀和激光诱导激波结构。这些聚合物的直接正面激光照射允许制造不同的表面结构。例如：低激光通量处理的PI产生纳米级锥体结构，其中锥体密度可以由激光参数控制。这使得激光制造微观QR码和高分辨率灰调图像成为可能。此外，激光处理的前面的聚合物箔允许背面结构由于激光诱导的冲击波。用光学显微镜、扫描电子显微镜（SEM）和白光干涉测量仪（WLI）分析了合成的表面结构。
Micro- and nanostructures exhibit a growing commercial interest where a fast, cost-effective, and large-area production is attainable. Laser methods have a great potential for the easy fabrication of surface structures into flexible polymer foils like polyimide (PI). In this study two different concepts for the structuring of polymer foils using a KrF excimer laser were tested and compared: the laser-induced ablation and the laser-induced shock wave structuring. The direct front side laser irradiation of these polymers allows the fabrication of different surface structures. For example: The low laser fluence treatment of PI results in nano-sized cone structures where the cone density can be controlled by the laser parameters. This allows inter alia the laser fabrication of microscopic QR code and high-resolution grey-tone images. Furthermore, the laser treatment of the front side of the polymer foil allows the rear side structuring due to a laserinduced shock wave. The resultant surface structures were analysed by optical and scanning electron microscopy (SEM) as well as white light interferometry (WLI).
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DOI：
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
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作者：
F. Raimondi;S. Abolhassani;R. Brütsch;F. Geiger;T. Lippert;J. Wambach;J. Wei;A. Wokaun
通讯作者：
A. Wokaun
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发表时间：
2011
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作者：
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通讯作者：
S. Jelvani
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发表时间：
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通讯作者：
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发表时间：
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D. Krajnovich
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发表时间：
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