Influence of carbon material and sputtering angle on stripper foil lifetime
Influence of carbon material and sputtering angle on stripper foil lifetime
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碳材料和溅射角度对剥离箔寿命的影响
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Y.Takeda
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
I.Sugai;M.Oyaizu;Y.Takeda
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DOI:
10.1016/0168-583x(91)95626-o
发表时间:
1991
影响因子:
1.3
作者:
G. Dollinger;P. Maier
通讯作者:
P. Maier
DOI:
10.1016/0168-583x(93)95940-7
发表时间:
1993
影响因子:
1.3
作者:
Muto Hideshi;Oyaizu Michihiro;I. Sugai;Kawasaki Katsunori;Takahashi Yohsuke;Ishii Yasuyuki;Hirata Takehide;Hattori Toshiyuki
通讯作者:
Hattori Toshiyuki
DOI:
10.1016/0168-583x(95)00608-7
发表时间:
1995
影响因子:
1.3
作者:
H. Muto;M. Oyaizu;K. Kawasaki;Yohsuke Takahashi;K. Takeuchi;I. Sugai;T. Hattori
通讯作者:
T. Hattori
DOI:
10.1007/bf01330048
发表时间:
1951
期刊:
Zeitschrift für Physik
影响因子:
--
作者:
Hans;G. Helwig
通讯作者:
G. Helwig
DOI:
10.1016/0168-9002(91)90764-h
发表时间:
1991
影响因子:
1.4
作者:
I. Sugai;M. Oyaizu;T. Hattori;K. Kawasaki;T. Yano;H. Muto;Yohsuke Takahashi;K. Yamazaki
通讯作者:
K. Yamazaki