Fabrication of high sensitivity carbon microcoil pressure sensors.
Fabrication of high sensitivity carbon microcoil pressure sensors.
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DOI：
10.3390/s120810034
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Chang SH
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Su CC;Li CH;Chang NK;Gao F;Chang SH
这项工作展示了一个高灵敏度的压力传感器，使用碳微线圈（CMC）和聚二甲基硅氧烷（PDMS）制造。通过化学气相沉积使用各种比例的Fe-Sn催化溶液生长CMC。压力传感器具有三明治结构，其中生长的CMC插入两个PDMS层之间。压力传感器响应于使用测压元件系统的机械载荷而呈现压阻变化。当催化剂配比为Fe：Sn = 95：5时，CMC的产率达到95%。实验结果表明，该传感器在CMC产率为95%的情况下，达到了0.93%/kPa的高灵敏度。压力传感器的灵敏度随着CMC产量的增加而增加。所研制的压力传感器具有灵敏度高的优点，适合批量生产.
This work demonstrates a highly sensitive pressure sensor that was fabricated using carbon microcoils (CMCs) and polydimethylsiloxane (PDMS). CMCs were grown by chemical vapor deposition using various ratios of Fe-Sn catalytic solution. The pressure sensor has a sandwiched structure, in which the as-grown CMCs were inserted between two PDMS layers. The pressure sensor exhibits piezo-resistivity changes in response to mechanical loading using a load cell system. The yields of the growth of CMCs at a catalyst proportion of Fe:Sn = 95:5 reach 95%. Experimental results show that the sensor achieves a high sensitivity of 0.93%/kPa from the CMC yield of 95%. The sensitivity of the pressure sensor increases with increasing yield of CMCs. The demonstrated pressure sensor shows the advantage of high sensitivity and is suitable for mass production.
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影响因子：
10.8
作者：
Stampfer, C;Helbling, T;Hierold, C
通讯作者：
Hierold, C
DOI：
10.1143/jjap.44.1569
发表时间：
2005-04-01
期刊：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS
影响因子：
--
作者：
Xu, GC;Chen, BB;Ina, T
通讯作者：
Ina, T
DOI：
10.1143/jjap.46.5383
发表时间：
2007-08-01
期刊：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS
影响因子：
--
作者：
Hokushin, Shogo;Pan, Lujun;Nakayama, Yoshikazu
通讯作者：
Nakayama, Yoshikazu
影响因子：
2.7
作者：
Lee, Hyung-Kew;Chang, Sun-Il;Yoon, Euisik
通讯作者：
Yoon, Euisik
影响因子：
2.4
作者：
Chang, Neng-Kai;Chang, Shuo-Hung
通讯作者：
Chang, Shuo-Hung