A 0.1um-Resoution Silicon Tactile Sensor with Precisely Designed Piezoresitve Sensing Structure
A 0.1um-Resoution Silicon Tactile Sensor with Precisely Designed Piezoresitve Sensing Structure
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具有精确设计的压阻传感结构的 0.1um 分辨率硅触觉传感器
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hidekuni Takao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tsubasa Nakashima;Kazuki Watatani;Kyohei Terao;Fusao Shimokawa;Hidekuni Takao
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带有针状接触器的两轴触觉传感器实现亚微米区域的触觉
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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作者：
D. Koyama;N. Shiga;S. Yasuda;N. Chauvet;and M. Naruse;Tubasa Nakashima; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
通讯作者：
Tubasa Nakashima; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
MEMS 6 轴力扭矩传感器附着在抓钳尖端，用于胸腔镜手术中的肿瘤识别
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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作者：
Akihito Nakai;Kenta Kuwana;Kai Saito;Takeyoshi Dohi;Ami Kumagai;and Isao Shimoyama
通讯作者：
and Isao Shimoyama
一种单片类指纹触觉传感器阵列，实现空间分布触觉信息的高分辨率成像
DOI：
10.1109/memsys.2019.8870856
发表时间：
2019
期刊：
2019 IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子：
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作者：
Kazuki Watatani;K. Terao;F. Shimokawa;H. Takao
通讯作者：
H. Takao
“微宏观”集成平面MEMS触觉传感器，用于指尖感觉的精确建模和测量
DOI：
10.1109/memsys.2017.7863381
发表时间：
2017
期刊：
2017 IEEE 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子：
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作者：
Kazuki Watatani;Ryogo Kozai;K. Terao;F. Shimokawa;H. Takao
通讯作者：
H. Takao
采用 CMOS 倒装接合的 3 轴完全集成表面贴装差分电容式触觉传感器
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS
影响因子：
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作者：
S. Asano;M. Muroyama;T. Bartley;T. Nakayama;U. Yamaguchi;Hitoshi Yamada;Y. Hata;Y. Nonomura;Shuji Tanaka
通讯作者：
Shuji Tanaka