Atomic resolution top-down nanofabrication with low-current focused-ion-beam thinning

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采用低电流聚焦离子束减薄的原子分辨率自上而下纳米加工

DOI:
10.1016/j.mee.2012.07.108
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发表时间:
2012-10
影响因子:
2.3
通讯作者:
Wuxia Li
Wuxia Li
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
--
作者:
Wuxia Li

文献摘要

参考文献

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