Free radicals created by plasmas cause autohesive bonding in polymers
Free radicals created by plasmas cause autohesive bonding in polymers
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等离子体产生的自由基会导致聚合物中的自粘键合
DOI：
10.1063/1.3592259
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发表时间：
2011
影响因子：
4
通讯作者：
N. James
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
F. Awaja;D. Mckenzie;Shengnan Zhang;N. James
我们发现，等离子体浸没离子注入的聚合物表面增强其autohesive键合强度时，压在一起的五个以上的因素。聚合（CH 4/O2）和非聚合（Ar）等离子体都是有效的。目前还没有令人满意的理论来预测这一显着的现象。我们建议，由等离子体处理过程中产生的自由基扩散到界面，并导致共价键形成。该理论预测了键合强度对等离子体偏置电压、处理时间和自粘合工艺条件的依赖性。
We find that plasma immersion ion implantation of polymer surfaces enhances their autohesive bond strength when pressed together by more than a factor of five. Both polymerising (CH4/O2) and nonpolymerising (Ar) plasmas are effective. There is currently no satisfactory theory for predicting this remarkable phenomenon. We propose that free radicals created by the plasma treatment process diffuse to the interface and cause covalent bonds to form. This theory predicts the dependence of bond strength on plasma bias voltage, treatment time, and autohesive process conditions.
用于聚合物微芯片的 PMMA 低温直接键合
DOI：
--
发表时间：
2006
期刊：
Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology
影响因子：
--
作者：
H.Shinohara;M.Ishizuka;J.Mizuno;S.Shoji
通讯作者：
S.Shoji
影响因子：
4.6
作者：
Shinohara, Hidetoshi;Mizuno, Jun;Shoji, Shuichi
通讯作者：
Shoji, Shuichi