A facile photolithography process enabling pinhole-free thin film photovoltaic modules on soda-lime glass
A facile photolithography process enabling pinhole-free thin film photovoltaic modules on soda-lime glass
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一种简便的光刻工艺，可在钠钙玻璃上实现无针孔薄膜光伏模块
DOI：
10.1016/j.solmat.2022.112112
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发表时间：
2023
影响因子：
6.9
通讯作者：
Kartopu G
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kartopu G
钠钙玻璃(SLG)衬底中的碱性杂质(主要是钠)的释放会影响高温下沉积的薄膜光伏(PV)器件的放大。这不仅会降低电子器件的质量，还会导致半导体薄膜的分层等灾难性效应。大面板区域上可能存在的针孔可能会进一步阻碍器件的放大，从而导致严重的分流路径。我们使用一种简单的光刻工艺在SLG上制作了均匀的CdTe微型模块。该工艺有效地抑制了钠的释放，防止了薄膜从衬底剥离，同时堵塞了半导体p-n结层内的针孔。使用工业激光划片系统演示了具有可重复器件响应的微型模块器件，该系统操作长(微秒)脉冲的绿色激光用于薄膜划片。
Release of the alkaline (mainly sodium) impurities from the soda-lime glass (SLG) substrate can compromise scaling-up of thin film photovoltaic (PV) devices deposited at high temperatures. This does not only degrade electronic device quality but also results in catastrophic effects such as delamination of the semiconductor thin films. Device scale-up can be further hindered by the pinholes that may exist across the large panel areas, causing serious shunt paths. We demonstrate fabrication of uniform CdTe mini-modules on the SLG using a facile photolithography process. This process effectively suppresses sodium release and prevents film delamination from the substrate whilst plugging the pinholes within the semiconductor p-n junction layers. Mini-module devices with repeatable device response are demonstrated using an industrial laser scribing system operating long (microsecond)-pulses of a green laser for thin film scribing.
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