Research and development of MEMS x-ray optics
Research and development of MEMS x-ray optics
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MEMS X射线光学器件的研发
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
A.Hoshino
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Ezoe;K.Mitsuda;M.Mita;M.Koshiishi;Y.Ishisaki;K.Shinozaki;A.Hoshino
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在氨溶液中进行超快速各向异性硅蚀刻并产生镜面
DOI：
10.1007/978-3-642-59497-7_144
发表时间：
2001
期刊：
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影响因子：
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作者：
C. Mihalcea;S. Khumpuang;M. Kuwahara;Zhen Yang;R. Maeda;J. Tominaga;N. Atoda
通讯作者：
N. Atoda
基于PMMA微成型的固体聚合物染料微腔激光器的制造和测试
影响因子：
2.3
作者：
Yigui Li;M. Sasaki;K. Hane
通讯作者：
K. Hane
使用 Wolter 微通道板光学器件进行 X 射线聚焦
DOI：
10.1016/s0168-9002(02)01059-8
发表时间：
2002
影响因子：
1.4
作者：
G. Price;A. Brunton;M. Beijersbergen;G. Fraser;M. Bavdaz;J. Boutot;R. Fairbend;S. Flyckt;A. Peacock;Enrico Tomaselli
通讯作者：
Enrico Tomaselli
使用微通道板进行 X 射线聚焦
DOI：
10.1117/12.51224
发表时间：
1992
期刊：
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影响因子：
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作者：
G. Fraser;J. Lees;J. Pearson;M. Sims;K. Roxburgh
通讯作者：
K. Roxburgh
采用 LIGA 工艺的高纵横比静电微型执行器
DOI：
10.1007/s005420000064
发表时间：
2000
期刊：
Microsystem Technologies
影响因子：
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作者：
R. Kondo;S. Takimoto;K. Suzuki;S. Sugiyama
通讯作者：
S. Sugiyama