Impact of a few dopant positions controlled by single-ion implantation on transconductance of FETs

Impact of a few dopant positions controlled by single-ion implantation on transconductance of FETs
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单离子注入控制的几种掺杂位置对 FET 跨导的影响

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
M.Hori
M.Hori
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
T.T.Dao;H.Sakai;T.Matsushima;H.Murata;陳海立・牧紀男・林春男;大島拓;M.Hori

文献摘要

参考文献

被引文献

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