Effective Young's Modulus Measurement of Thin Film Using Micromechanical Cantilever Sensors
Effective Young's Modulus Measurement of Thin Film Using Micromechanical Cantilever Sensors
复制标题
使用微机械悬臂梁传感器有效测量薄膜杨氏模量
DOI：
10.7567/jjap.52.110111
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发表时间：
2013
影响因子：
1.5
通讯作者：
Rüdiger Berger
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Akiko N. Itakura;Masaya Toda;Koji Miyake;Renate Förch;Rüdiger Berger
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通讯作者：
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通讯作者：
P. Shaver
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通讯作者：
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通讯作者：
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