Simultaneous formation of ohmic contacts for both n- and p-type 4H-SiC using NiAl-based contact materials

Simultaneous formation of ohmic contacts for both n- and p-type 4H-SiC using NiAl-based contact materials
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使用 NiAl 基接触材料同时形成 n 型和 p 型 4H-SiC 欧姆接触

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Materials Research Society Symposium Proceedings 911
影响因子:
--
通讯作者:
Masanori Murakami
Masanori Murakami
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
S.Tsukimoto;T.Onishi;K.Ito;Masanori Murakami

文献摘要

参考文献

被引文献

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S. Tsukimoto;T. Sakai;T. Onishi;Kazuhiro Ito;M. Murakami
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