Motion error compensation of a mechanical contact spindle using a multi-degree-of-freedom micro-positioning stage
Motion error compensation of a mechanical contact spindle using a multi-degree-of-freedom micro-positioning stage
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利用多自由度微定位平台补偿机械接触主轴的运动误差
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大岩孝彰
中科院分区：
文献类型：
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作者：
津島将司;寺西一浩;西田耕介;平井秀一郎;大岩孝彰
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使用压电致动器的高刚性多自由度精细运动机构（第三次报告）
DOI：
10.2493/jjspe.62.1302
发表时间：
1996
期刊：
影响因子：
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作者：
A. Kyusojin;Yosiaki Yamamoto;H. Isobe
通讯作者：
H. Isobe
使用压电执行器的高刚性多自由度精细运动机构。
DOI：
10.2493/jjspe.60.1355
发表时间：
1994
期刊：
影响因子：
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作者：
T. Oiwa;Katsumi Kaneko;T. Kaneko;A. Kyusojin
通讯作者：
A. Kyusojin
闭环差动静压或静压执行器的纳米定位特性
DOI：
10.1016/s0007-8506(07)63406-4
发表时间：
1983
期刊：
影响因子：
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作者：
A. Kanai;M. Miyashita;T. Hoshi
通讯作者：
T. Hoshi
实时控制主轴跳动
DOI：
10.1117/12.7973594
发表时间：
1985
期刊：
影响因子：
--
作者：
T. Bifano;T. Dow
通讯作者：
T. Dow