Measurement of Oxygen Plasma for Diamond Etching Process

Measurement of Oxygen Plasma for Diamond Etching Process
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金刚石蚀刻过程中氧等离子体的测量

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P2-055
影响因子:
--
通讯作者:
Ikehata
Ikehata
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
H;Yoshikawa・Y;Nakano・K;Masumura・N;Sato・T;Ikehata

文献摘要

参考文献

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