Measurement of Oxygen Plasma for Diamond Etching Process
Measurement of Oxygen Plasma for Diamond Etching Process
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金刚石蚀刻过程中氧等离子体的测量
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Ikehata
中科院分区:
文献类型:
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作者:
H;Yoshikawa・Y;Nakano・K;Masumura・N;Sato・T;Ikehata
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影响因子:
4
作者:
A. Qayyum;R. Ahmad;S. A. Ghauri;A. Waheed;M. Zakaullah
通讯作者:
M. Zakaullah
影响因子:
5.4
作者:
W. Fan;K. Jagannadham;B. Goral
通讯作者:
B. Goral
影响因子:
5.4
作者:
Cappelli, E;Orlando, S;Armigliato, A
通讯作者:
Armigliato, A
影响因子:
1.9
作者:
Sunwoo Lee;Sang
通讯作者:
Sang
影响因子:
5.4
作者:
Toshiki Tsubota;S. Ida;Naoki Okada;M. Nagata;Y. Matsumoto;Nobumitsu Yatsushiro
通讯作者:
Nobumitsu Yatsushiro