Thermochemical process in preparation of ZnO film by TFA-MOD method
Thermochemical process in preparation of ZnO film by TFA-MOD method
复制标题
TFA-MOD法制备ZnO薄膜的热化学过程
DOI：
10.1016/j.apsusc.2006.09.044
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发表时间：
2007-02
影响因子：
6.7
通讯作者：
Zou, Youming
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Li, Yun;Chen, Zheng;Wang, Yuxia;Wang, Jianwen;Zhang, Hongjuan;Zou, Youming
在三氟乙酸盐金属有机物沉积法（TFA-MOD）生长ZnO薄膜的过程中，观察到由于锌化合物的蒸发而导致的过量失重。较高温度（>90°C）老化和/或添加单乙醇胺（MEA）有效防止锌化合物的蒸发并增加ZnO的产率。防止蒸发的机理是三氟乙酸锌水解成Zn 4 O（CF 3COO）6。提出了Zn_4O（CF_3COO）_6的三维结构。结果表明，高温老化对ZnO薄膜的表面形貌有一定的影响。MEA的加入降低了所需的老化温度，从而改善了表面形貌。
The excess weight loss due to the evaporation of zinc compound is observed in the growth of ZnO film by trifluoroacetate metalorganic deposition (TFA-MOD) method. Higher temperature (>90°C) aging and/or addition of monoethanolamine (MEA) are effective to prevent the evaporation of zinc compound and increase the yield of ZnO. The mechanism of preventing evaporation is that zinc trifluoroacetate is hydrolyzed into Zn4O(CF3COO)6. A three-dimensional structure of Zn4O(CF3COO)6is proposed. It is shown that higher temperature aging does harm to the surface morphology of ZnO films. The addition of MEA reduces the required aging temperature thus improves the surface morphology.
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Y. Zou;Yuxia Wang;Zhengwang Chen;Jianwen Wang;Y. Li