Formation of GaN films by Ga ion direct deposition under nitrogen radical atmosphere

Formation of GaN films by Ga ion direct deposition under nitrogen radical atmosphere
复制标题

氮自由基气氛下Ga离子直接沉积形成GaN薄膜

DOI:
--
复制
发表时间:
2004
期刊:
Journal of Vacuum Science and Technology B 22(6)
影响因子:
--
通讯作者:
Masaya Toda 他
Masaya Toda 他
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Masaya Toda 他

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

N2 与 (100) W 的相互作用
DOI: 10.1016/0039-6028(70)90089-0
发表时间: 1970
期刊: Surface Science
影响因子: 1.9
作者:
L. R. Clavenna;L. Schmidt
通讯作者: L. Schmidt
Ga低能聚焦离子束和二甲肼对GaN进行无掩模选择性外延
DOI: 10.1116/1.591404
发表时间: 2000
影响因子: 1.4
作者:
D. H. Cho;M. Tanaka;K. Pak
通讯作者: K. Pak
使用氮气通过热钨丝对 GaAs 表面进行氮化
DOI: 10.1063/1.115184
发表时间: 1995
影响因子: 4
作者:
T. Makimoto;N. Kobayashi
通讯作者: N. Kobayashi