Formation of GaN films by Ga ion direct deposition under nitrogen radical atmosphere
Formation of GaN films by Ga ion direct deposition under nitrogen radical atmosphere
复制标题
氮自由基气氛下Ga离子直接沉积形成GaN薄膜
DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Masaya Toda 他
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Masaya Toda 他
影响因子:
1.9
作者:
L. R. Clavenna;L. Schmidt
通讯作者:
L. Schmidt
影响因子:
1.4
作者:
D. H. Cho;M. Tanaka;K. Pak
通讯作者:
K. Pak
影响因子:
4
作者:
T. Makimoto;N. Kobayashi
通讯作者:
N. Kobayashi